FAB SUPPORT AB har valt att arbeta med Entegris Pure Gas, som är den största globala leverantören av bulkgasrenare och fallspecifika gasrenare för ett stort antal olika gaser.
Gasrenare
GateKeeper® GPU Gas Purifiers
Entegris GPU-gasrenare tar effektivt bort halogena gaser, hydrider, reaktiva oxider, mättade och omättade kolväten, fluorväten och klorväten vid en stor variation av flöden.
GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers
Entegris PS2, PS3 och PS4 -gasrenare tar effektivt bort H2O, O2, CO, CO2, H2, N2 och THC vid flöden upp till 150 slpm (9 Nm3/hr).
GateKeeper® EX Series Gas Purification Systems
GateKeeper® Gas Purification System (GPS) EX -serien är det senaste kontinuerliga gasrenarsystemet från Entegris. Denna avancerade gasrenarteknologi förser halvledartillverkare med en innovativ, effektiv samt kostnadseffektiv lösning för att rena gaser som används vid torra och patronbaserade litografiska verktyg.
MegaTorr® Palladium Hydrogen Gas Purifiers
Entegris PD-series H2-gasrenare tar effektivt bort H2O, O2, CO, CO2, H2, THC, N2, He och Ar vid flöden upp till 2,170 slpm (130 Nm3/hr).
Diffusorer
Chambergard™ Fast Vent diffusorer reducerar partiklar och ventilationstider i lastlås och överföringskammare. Genom att kombinera flödesegenskaperna hos en diffusor med ett högeffektivitetsfilter kan Chambergard™ Fast Vent diffusorer öka både effektivitet och genomströmning. Läs mer…
Gassampling
AMC-provtagartjänsten från Entegris är ett ekonomiskt sätt att avgöra om det förekommer molekylär kontamination i kväve, koldioxid, CDA eller renrumsluft. Detektionsnivåer är lägre del per biljon (pptV) för syror, baser, organiska eller värmebeständiga föreningar.
Kontakta oss gärna för rådgivning kring valet av rätt gasrenare för just era behov.