Chambergard™ Fast Vent diffusorer reducerar partiklar och ventilationstider i lastlås och överföringskammare. Genom att kombinera flödesegenskaperna hos en diffusor med ett högeffektivitetsfilter kan Chambergard™ Fast Vent diffusorer öka både effektivitet och genomströmning.
- Ökar genomströmning i system genom att minimera tiden för lastlåsets ventlationscykel
- Erbjuder snabb ventilering utan att störa eller addera partiklar till wafers
- Kombinerar flödesegenskaperna hos en diffusor med ett högeffektivitetsfilter för att öka effektivitet och genomströmning
Specifikationer:
| Material: | Diffusordel: patenterat och sintrat nickelmembranfilter |
| Utsida: 316L rostfritt stål | |
| Intern ytbeläggning: ≤32 μin Ra | |
| Prestanda: | Renlighet medströms: mindre än 0.03 partiklar/liter (<1 partikel/ft3) större än 0.01 μm vid nominellt flöde |
| Avlägsningsgrad: ≥0.003 μm | |
| Pålitlighet: 100,000 cyklar vid maximalt inloppstryck och 25°C (77°F) | |
| Datablad: | Chambergard™ Fast Vent Diffusers - PDF |