Gasrenare

FAB SUPPORT AB har valt att arbeta med Entegris Pure Gas, som är den största globala leverantören av bulkgasrenare och fallspecifika gasrenare för ett stort antal olika gaser.

GateKeeper® GPU Gas Purifiers

Entegris GPU-gasrenare tar effektivt bort halogena gaser, hydrider, reaktiva oxider, mättade och omättade kolväten, fluorväten och klorväten vid en stor variation av flöden.

GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers

Entegris PS2, PS3 och PS4 -gasrenare tar effektivt bort H2O, O2, CO, CO2, H2, N2 och THC vid flöden upp till 150 slpm (9 Nm3/hr).

GateKeeper® EX Series Gas Purification Systems

GateKeeper® Gas Purification System (GPS) EX -serien är det senaste kontinuerliga gasrenarsystemet från Entegris. Denna avancerade gasrenarteknologi förser halvledartillverkare med en innovativ, effektiv samt kostnadseffektiv lösning för att rena gaser som används vid torra och patronbaserade litografiska verktyg.

MegaTorr® Palladium Hydrogen Gas Purifiers

Entegris PD-series H2-gasrenare tar effektivt bort H2O, O2, CO, CO2, H2, THC, N2, He och Ar vid flöden upp till 2,170 slpm (130 Nm3/hr).

CollectTorr: AMC Sampling Service

AMC-provtagartjänsten från Entegris är ett ekonomiskt sätt att avgöra om det förekommer molekylär kontamination i kväve, koldioxid, CDA eller renrumsluft. Detektionsnivåer är lägre del per biljon (pptV) för syror, baser, organiska eller värmebeständiga föreningar.

Kontakta oss gärna för rådgivning kring valet av rätt gasrenare för just era behov.